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    2. 氦氮檢漏

      氦質譜檢漏儀吸嘴法
      用于真空殘余氣體分析的質譜儀都可以用來檢漏(其示漏物質有氫、氦、氬等),但檢漏靈敏度各不相同。專門用來檢漏的質譜儀叫質譜檢漏儀。其特點是靈敏度高,性能穩定。特別是用氦做示漏氣體的氦質譜檢漏儀,是真空檢漏中靈敏度最高、用得最普遍的一種檢漏儀器。

      氦氮檢漏

       

      圖5.6吸嘴法檢漏

        氦質譜檢漏儀的靈敏度,即最小可檢泄漏率,就是在儀器處于最佳工作條件下,以0.1MPa的1%的氦和99%的氮為示漏氣體,進行動態檢漏時所能檢出的最小漏孔的泄漏率。所謂“最佳工作條件”系指被檢件出氣很少,且沒有較大漏孔,同時儀器本身的參數是調整到最佳工作狀態等條件;所謂“動態檢漏”即指檢漏時不用累積法,檢漏儀本身的真空系統仍在正常抽氣,儀器的反應時間不大于3s(其中真空系統的時間常數不大于1s)等情況;所謂“最小可檢”是指信號是本底噪音的兩倍;所說的“泄漏率”系指0.1MPa的干燥空氣通過漏孔漏向真空端(壓力遠比0.1MPa低)的泄漏率。氦質譜檢漏儀吸嘴法的靈敏度約為10-9cm3/s。
       

      響應時間  這種方法的響應時間約為2~3s,它主要包括兩個方面:一是檢漏器本身的響應時間;另一個是泄漏的氦氣被吸入到檢漏儀的響應時間。
      各廠家生產的氦質譜檢漏儀本身的響應時間基本相同。檢測部分抽真空用真空泵的排氣速度對響應時間影響很大。排氣速度越小,氦氣就越容易積蓄在被檢件內,從而縮短響應時間。氦氣從泄漏點流到吸入孔需要一定的時間,通常為1s左右。
      泄漏點的判斷  使用這種檢漏儀,吸嘴(探頭)要以2~5m/min的緩慢速度沿被檢件表面移動。若有泄漏,可以看到儀表指針擺動,也可以聽到振蕩器的聲音發生變化,由此可判斷出泄漏點或附近有泄漏。檢測時可使吸嘴離開可疑的地方,信號恢復到原始狀態。稍等一會(通常為2~5s)后,再將吸嘴靠近可疑的地方。重復上述操作幾次,就可以準確判斷出泄漏點,精度大約可達1mm。
       

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